Thiết bị lắng đọng lò CVD để chuẩn bị vật liệu bán dẫn phim mỏng

Chi tiết sản phẩm

Hàng hiệu: Jingtan

Chứng nhận: CE

Điều khoản thanh toán và vận chuyển

Số lượng đặt hàng tối thiểu: 1 bộ

Giá bán: USD12,000-100,000/SET

chi tiết đóng gói: Bao bì bằng gỗ

Thời gian giao hàng: 60 ngày

Điều khoản thanh toán: L/c/t/t

Khả năng cung cấp: 30 mảnh / miếng mỗi quý

Nhận được giá tốt nhất

Liên hệ ngay bây giờ

Thông số kỹ thuật

Mô tả

Thông số kỹ thuật

Làm nổi bật: 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              Thiết bị lắng đọng cho vật liệu bán dẫn, Cửa CVD cho vật liệu bán dẫn
                                                  

Địa điểm xuất xứ:	Hồ Nam, Trung Quốc	Loại:	lò cảm ứng
Sử dụng:	lò lắng đọng	Video kiểm tra xuất phát:	Được cung cấp
Báo cáo thử máy:	Được cung cấp	Thành phần cốt lõi:	PLC
brand name:	Jingtan	Điện áp:	380
Trọng lượng (tấn):	2T	Công suất (kW):	220
Các điểm bán hàng chính:	Giá cả cạnh tranh	Nhiệt độ thiết kế (°C):	1250-2200
Nhiệt độ đáng lo ngại:	900-1200oC	Tốc độ tăng áp suất (Pa/h):	0,67Pa/h(150Pa/24h)
Phương pháp sưởi:	điện trở/cảm ứng	Môi trường làm việc:	chân không/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Loại lò:	Vuông/trònDọc/Ngang	Chế độ làm mát lò:	làm mát nước vỏ lò
Dụng cụ hồng ngoại:	đo màu đơn/đôi	Độ đồng đều nhiệt độ:	±5
Giới hạn độ chân không (Pa):	1-100	Loại tiếp thị:	Sản phẩm thông thường
Bảo hành các thành phần cốt lõi:	1 năm	Ngành công nghiệp áp dụng:	Chất bán dẫn khác

Địa điểm xuất xứ:	Hồ Nam, Trung Quốc
Loại:	lò cảm ứng
Sử dụng:	lò lắng đọng
Video kiểm tra xuất phát:	Được cung cấp
Báo cáo thử máy:	Được cung cấp
Thành phần cốt lõi:	PLC
brand name:	Jingtan
Điện áp:	380
Trọng lượng (tấn):	2T
Công suất (kW):	220
Các điểm bán hàng chính:	Giá cả cạnh tranh
Nhiệt độ thiết kế (°C):	1250-2200
Nhiệt độ đáng lo ngại:	900-1200oC
Tốc độ tăng áp suất (Pa/h):	0,67Pa/h(150Pa/24h)
Phương pháp sưởi:	điện trở/cảm ứng
Môi trường làm việc:	chân không/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Loại lò:	Vuông/trònDọc/Ngang
Chế độ làm mát lò:	làm mát nước vỏ lò
Dụng cụ hồng ngoại:	đo màu đơn/đôi
Độ đồng đều nhiệt độ:	±5
Giới hạn độ chân không (Pa):	1-100
Loại tiếp thị:	Sản phẩm thông thường
Bảo hành các thành phần cốt lõi:	1 năm
Ngành công nghiệp áp dụng:	Chất bán dẫn khác

Mô tả

Thiết bị lắng đọng lò CVD để chuẩn bị vật liệu bán dẫn phim mỏng

Chi tiết:

lò lắng đọng chân không:

Chủ yếu được sử dụng để chuẩn bị các vật liệu tổng hợp carbon-carbon và lò lắng đọng chủ yếu được sử dụng để chuẩn bị lớp phủ carbon pyrolytic trên bề mặt graphite,Thiết bị bán dẫn và vật liệu lau chống nhiệt.

Parameter/Model No.	JT-0305-C	JT-0505-C	JT-0608-C	JT-0608-C	JT-0812-C	JT-1120-C	JT-1218-C	JT-1520-C
Kích thước khu vực làm việc φ × H ((mm)	300×500	500×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
Nhiệt độ cao nhất (°C)	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300
Độ đồng nhất nhiệt độ ((°C)	± 5	± 5	±5/±7.5	±7,5/±10	±7,5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
Độ chân không giới hạn ((Pa)	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
Độ chân không giới hạn ((Pa)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Phương pháp sưởi ấm	Chống/kích ứng	Chống/kích ứng	Chống/kích ứng	Chống/kích ứng	Chống/kích ứng	Chống/kích ứng	Chống/kích ứng	Chống/kích ứng

Nhiệt độ thiết kế	1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
Nhiệt độ chung	900~1200°C
Độ chân không	< 50Pa
Tốc độ tăng áp suất	6.67pA /h ((hoặc 150Pa / 24h) ở trạng thái lạnh của lò trống
Chế độ sưởi ấm	sưởi ấm kháng graphite hoặc sưởi ấm cảm ứng, kiểm soát nhiệt độ độc lập, đồng nhất nhiệt độ tốt
Không khí môi trường	chân không /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

Chế độ điều khiển khí	Kiểm soát bộ đo lưu lượng khối lượng, đường dẫn khí đa kênh, trường lưu lượng đồng đều, không có góc chết lắng đọng, hiệu ứng lắng đọng tốt;Hệ thống xử lý khí thải thải đa giai đoạn và hiệu quả, thân thiện với môi trường,dễ dọn sạch
Loại lò	cấu trúc vuông, tròn, dọc hoặc ngang (thiết kế không chuẩn), buồng lắng đọng hoàn toàn kín, hiệu ứng niêm phong tốt, Khả năng chống ô nhiễm mạnh;
Chế độ làm mát lò	bếp vỏ nước làm mát, lưu thông bên ngoài hệ thống làm mát nhanh có thể được lựa chọn, thời gian làm mát ngắn, sản lượng cao hiệu quả;

Hình dạng cấu trúc	Phân tích theo chiều ngang - bên, theo chiều dọc - lên/dưới
Chế độ khóa	Hướng tay/tự động
Vật liệu vỏ	Thép không gỉ bên trong/tất cả thép không gỉ
Vật liệu cách nhiệt	Carbon felt/graphite felt/carbon fiber cured felt
Thiết bị hồng ngoại	màu đơn / màu kép
Nguồn cung cấp điện	KGPS/IGBT ((chỉ phù hợp với sưởi ấm tần số trung bình) Parameter sản phẩm: