Chế độ khóa cửa lò lắng đọng chân không cho đồ họa và thiết bị bán dẫn

lò lắng đọng chân không được sử dụng để chuẩn bị các vật liệu tổng hợp carbon-carbon,và lò lắng đọng chủ yếu được sử dụng để chuẩn bị lớp phủ carbon pyrolytic trên bề mặt graphite, thiết bị bán dẫn và vật liệu chống nhiệt.

Phạm vi áp dụng:

Graphite, thiết bị bán dẫn, vật liệu chống nhiệt.

1Các thông số cơ bản:

1) Nhiệt độ thiết kế: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Nhiệt độ chung: 900 ~ 1200 °C

3) Độ chân không: < 50Pa

4) Tốc độ tăng áp: 6,67pA /h ((hoặc 150Pa / 24h) trong trạng thái lạnh của lò trống

5) Chế độ sưởi ấm: sưởi ấm kháng graphite hoặc sưởi ấm cảm ứng, kiểm soát nhiệt độ độc lập, đồng nhất nhiệt độ tốt

6) môi trường khí quyển: chân không /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Chế độ điều khiển khí: điều khiển bộ đo lưu lượng khối lượng, đường dẫn khí nhiều kênh, trường lưu lượng đồng đều, không có góc chết lắng đọng, hiệu ứng lắng đọng tốt;

Hệ thống xử lý khí thải thải nhiều giai đoạn và hiệu quả, thân thiện với môi trường, dễ làm sạch;

8) Loại lò: cấu trúc vuông, tròn, dọc hoặc ngang (thiết kế không chuẩn), buồng lắng đọng hoàn toàn khép kín, hiệu ứng niêm phong tốt, khả năng chống ô nhiễm mạnh;

9) Chế độ làm mát lò: làm mát nước vỏ lò, hệ thống làm mát nhanh lưu thông bên ngoài có thể được lựa chọn, thời gian làm mát ngắn, hiệu quả sản xuất cao;

2Cấu trúc của lò lắng đọng chân không:

Hình dạng cấu trúc: thả ngang - bên, dọc - thả lên / xuống

Chế độ khóa cửa lò: thủ công/tự động

Vật liệu vỏ lò: thép không gỉ bên trong / tất cả thép không gỉ

Vật liệu cách nhiệt: Carbon felt/graphite felt/carbon fiber cured felt

Máy sưởi, vật liệu muffle: graphite / CFC

Thiết bị hồng ngoại: đơn màu/hai màu

Nguồn điện: KGPS/IGBT ((chỉ phù hợp với sưởi ấm tần số trung bình)

Thông số kỹ thuật sản xuất: