Cửa lò lắng đọng hơi hóa học cho các hợp chất hữu cơ kim loại SiC vật liệu tổng hợp

lò lắng đọng hơi có thể được sử dụng để sưởi ấm và bay hơi các halogen kim loại, các hợp chất hữu cơ kim loại,hydrocarbon và các nguồn phản ứng khác dưới áp suất cụ thể để tạo ra trầm tích rắn trên bề mặt vật liệu mục tiêuNó cũng được sử dụng để lắng đọng hơi nước hóa học của vật liệu tổng hợp với khí hydrocarbon (như C3H8, vv) như là nguồn carbon, chẳng hạn như vật liệu tổng hợp C / C, vật liệu tổng hợp SiC, CVD,Xử lý CVI.

Đặc điểm:

1) Ở nhiệt độ trung bình hoặc cao, vật liệu rắn được hình thành và lắng đọng trên ma trận thông qua phản ứng hóa học pha khí giữa các hợp chất ban đầu trong pha khí.

2) Nó có thể được lắng đọng dưới áp suất khí quyển hoặc điều kiện chân không (tấm áp âm, thường chất lượng phim lắng đọng chân không tốt hơn).

3) Việc sử dụng công nghệ hỗ trợ bằng plasma và laser có thể thúc đẩy đáng kể phản ứng hóa học, do đó sự lắng đọng có thể được thực hiện ở nhiệt độ thấp hơn.

4) Thành phần hóa học của lớp phủ có thể thay đổi với sự thay đổi thành phần pha khí, để có được trầm tích gradient hoặc lớp phủ hỗn hợp.

5) Có thể kiểm soát mật độ lớp phủ và độ tinh khiết của lớp phủ.

6) xung quanh các bộ phận bọc. Nó có thể được phủ trên ma trận hình dạng phức tạp và vật liệu hạt. Thích hợp cho việc phủ tất cả các loại hình dạng phức tạp của mảnh làm việc.nó có thể được phủ bằng rãnh, rãnh, lỗ, và thậm chí lỗ mù của mảnh làm việc.

7) Lớp lắng đọng thường có cấu trúc tinh thể cột và không chống uốn cong,nhưng cấu trúc của nó có thể được cải thiện bằng cách xáo trộn pha khí của phản ứng hóa học thông qua các kỹ thuật khác nhau.

8) có thể tạo ra nhiều loại lớp phủ kim loại, hợp kim, gốm và hợp chất thông qua các phản ứng khác nhau.