Có thể được sử dụng để sưởi ấm và bốc hơi halide kim loại, hợp chất hữu cơ kim loại,hydrocarbon và các nguồn phản ứng khác dưới áp suất cụ thể để tạo ra trầm tích rắn trên bề mặt vật liệu mục tiêuNó cũng được sử dụng cho hóa học hơi lắng đọng của vật liệu tổng hợp với khí hydrocarbon (như C3H8, vv) như là nguồn carbon, chẳng hạn như C / C vật liệu tổng hợp, SiC tổng hợp
vật liệu, CVD, CVI xử lý.